<ul><li>Датчик расхода для контроля работы вакуум-присоса с очень маленькими объектами</li><li>Рабочая среда: осушенный воздух, N2</li><li>Выходы: аналоговый по напряжению (1 ~ 5 В)</li><li>Номинальный диапазон расхода: от -3 до 3 л/мин</li><li>IP40</li><li>Воспроизводимость: ±2% от полной шкалы</li><li>Внутренняя резьба M5</li><li>Потребляемый ток: не более 16 мА</li><li>Время отклика: не более 5 мс (90% ответов).</li></ul>