Угловые и встраиваемые в линию клапаны

Угловой клапан на высокий вакуум XL обладает прекрасной теплопроводностью всего корпуса и заметно уменьшает конденсацию газов внутри клапана. Отскутствие в клапане тяжелых металлов, таких как Ni (никель) или Cr (хром), а также низкий коэффициент распыления позволяет свести к минимуму загрязнение полупроводниковых пластин тяжелыми металлами.

Серии XM (клапан на высокий вакуум, угловой) и XY (клапан на высокий вакуум, прямой) имеют корпус из нержавеющей стали (SUS). Структура клапанов XM такая же, как у клапанов XL, исключая материал корпуса, который у XL из алюминиевого сплава. Точное литье и индивидуальное производство клапанов серии XY предотвращают дефекты, вызываемые газовыми включениями и пористостью.