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Catálogo digital

Válvula de tajadera

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XGTP
Nuevo

XGTP

  • Válvula de compuerta para wafer de 300 mm
  • Larga vida útil de 3 millones de ciclos
  • Generación de partículas reducidas en 20% o más
  • Mecanismo de bloqueo en final de carrera
  • El fuelle se puede sustituir fácilmente y la parte superior es accesible (ejecución especial)
  • Intercambiable con el producto XGT actual.

XGT

XGT

La válvula de hendidura de la serie XGT es apropiada para la válvula de partición entre la cámara presurizada de carga y la cámara de transferencia, y entre la cámara de transferencia y la cámara de proceso en el equipo de fabricación del semiconductor, etc.

No se han encontrado resultados que cumplan con los criterios de búsqueda introducidos