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Magnetischer Greifer – MHM-X6400

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Ventilinsel – SY3000/5000/7000

Inselparadies für effiziente Networker – Maximale Produktivität, erstklassige Betriebssicherheit
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Der neue Konfigurator für modulare Wartungseinheiten – Jetzt komplett in 3D
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Einfach sparen – Drosselrückschlagventile für die energieeffiziente Zylindersteuerung
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VG342-X87, Redundant aufgebautes Entlüftungsventil, 3/2-Wege-Magnetventil, ISO13849-1
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XGTP

XGTP

Hochvakuum -Transferventil - Ausführung für 300 mm-Wafer
Lange Lebensdauer von 3 Millionen Zyklen
Um min. 1/5 reduzierte Partikelbildung
Mit Endlagenverriegelung
Einfacher Austausch des Faltenbalgs und des Schiebers von oben (Bestelloption)
Austauschbar mit dem Vorgängermodell der Serie XGT.

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XGT

XGT

Die Rechteckschieber der Serie XGT sind geeignet als Trennventil zwischen der Schleusenkammer und der Übergabeschleuse und zwischen der Übergabeschleuse und der Bearbeitungskabine in Anlagen der Halbleiterfertigung etc.

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