Slit Valves

• Hochvakuum -Transferventil - Ausführung für 300 mm-Wafer
• Lange Lebensdauer von 3 Millionen Zyklen
• Um min. 1/5 reduzierte Partikelbildung
• Mit Endlagenverriegelung
• Einfacher Austausch des Faltenbalgs und des Schiebers von oben (Bestelloption)
• Austauschbar mit dem Vorgängermodell der Serie XGT.

Die Rechteckschieber der Serie XGT sind geeignet als Trennventil zwischen der Schleusenkammer und der Übergabeschleuse und zwischen der Übergabeschleuse und der Bearbeitungskabine in Anlagen der Halbleiterfertigung etc.