Slit Valves

• Slit valve met parallelle dichting voor 300 mm grote wafer
• Lange levensduur van 3 miljoen cycli
• Deeltjesvorming met 1/5 of meer verminderd
• Mechanisch eindvergrendelingsmechanisme
• Balg kan gemakkelijk worden vervangen en bovenkant is toegankelijk (maatwerk)
• Verwisselbaar met het huidige XGT-product.

Het slit valve van de XGT-serie is geschikt voor het verdeelventiel tussen de load lock chamber en de overdrachtkamer en tussen de overdrachtkamer en de proceskamer in productieapparatuur voor halfgeleiders, enz.