Zawory szczelinowe

• Parallel seal type slit valve for 300 mm wafer
• Long service life of 3 million cycles
• Particle generation reduced by 1/5 or more
• Mechanical end lock mechanism
• Bellows are easily replaceable and top accessible (made to order)
• Interchangeable with the current XGT product.

Zawory szczelinowe do podciśnienia serii XGT można stosować jako zawory rozdziału pomiędzy komorą załadowującą, a komorą transportującą oraz pomiędzy komorą transportującą, a komorą procesową w przemyśle półprzewodników.