Symbol zamówieniowy

Moje konto

×

Upewnij się, że Twój system działa na najwyższych obrotach

Rozwiązania wysokopróżniowe

Nasze rozwiązania w zakresie wysokiej próżni ewoluowały, aby sprostać coraz bardziej złożonym wymaganiom produkcji półprzewodników i innych gałęzi przemysłu high-tech.

Czy proces produkcji obejmuje któreś z poniższych elementów?

  • Urządzenia do trawienia
  • Urządzenia do napylania jonowego
  • Urządzenia do implantacji jonowej
  • Urządzenia do CVD.

Jeśli tak, nasze wysokiej jakości urządzenia peryferyjne są dokładnie tym, czego potrzebujesz do odprowadzania powietrza i dostarczania ciśnienia atmosferycznego do komory próżniowej podczas przetwarzania płytek i wyświetlaczy LCD.

Rozwiązania wysokopróżniowe firmy SMC zapewniają wysoką wydajność, spełniając jednocześnie wymagane warunki, takie jak szczelność, czystość, odporność na korozję, długa żywotność i minimalny czas konserwacji.

Nasi zaangażowani i wykwalifikowani specjaliści są do Państwa dyspozycji, aby zadbać o Państwa potrzeby w zakresie usług i produktów w terenie, oprócz globalnego zasięgu i produkcji SMC.

Zastosowania

Technologia wysokiej próżni ma kluczowe znaczenie w zaawansowanych badaniach i procesach przemysłowych, w tym w przyrządach analitycznych, systemach powlekania i komorach symulacji kosmicznej. SMC dostarcza komponenty, które gwarantują szczelność, precyzyjną regulację temperatury i dokładną kontrolę ciśnienia — niezbędne w środowiskach, w których nawet najmniejsze odchylenie może mieć wpływ na wyniki. Niezależnie od tego, czy opracowujesz materiały nowej generacji, czy przeprowadzasz precyzyjne eksperymenty, SMC dostarcza rozwiązania, które zapewniają stabilność i niezawodność Twoich systemów.

Rozwiązania wysokopróżniowe w szczegółach

Kliknij na poniższe zdjęcie, aby uzyskać więcej informacji.

Linie zasilające w gaz N2/powietrze

Aby zachować integralność komory i zapobiec zanieczyszczeniu, przez kontrolowane przewody zasilające wprowadzany jest czysty azot lub powietrze. Przewody te wspomagają uruchamianie zaworów i przedmuchiwanie komory, zapewniając stabilne warunki ciśnienia podczas przetwarzania.

Linie odpowietrzajace

Skuteczna ewakuacja gazów procesowych ma kluczowe znaczenie dla utrzymania wysokiego poziomu próżni. Przewody odprowadzające wyposażone w gładkie zawory odpowietrzające i kątowe umożliwiają kontrolowane uwalnianie ciśnienia, minimalizując powstawanie cząstek i zapewniając szybkie przywrócenie stanu komory.

Zawór szczelinowy i transfer

Zawory szczelinowe umożliwiają czysty i precyzyjny transfer płytek między komorami próżniowymi, utrzymując integralność próżni podczas operacji ładowania i blokowania. Dodatkowe elementy, takie jak siłowniki beztłoczyskowe i jonizatory, zapewniają płynny ruch bez cząstek stałych oraz kontrolę wyładowań elektrostatycznych, gwarantując niezawodną i wolną od zanieczyszczeń obsługę podczas całego procesu transferu.

Napędzanie zaworów pneumatycznych

Zawory pneumatyczne wymagają stabilnego i czystego zasilania pneumatycznego, aby działać niezawodnie w systemach wysokopróżniowych. Elementy takie jak 4-pozycyjne zawory podwójne 3-portowe i czyste regulatory zapewniają precyzyjne uruchamianie, wspierając stałą wydajność zaworów przy jednoczesnym minimalizowaniu ryzyka zanieczyszczenia.

Linia regulacji temperatury

Systemy wody chłodzącej pomagają rozpraszać ciepło wytwarzane podczas pracy próżniowej, chroniąc sprzęt i utrzymując optymalne warunki w komorze. Filtry i zawory regulujące przepływ zapewniają czystą i stabilną cyrkulację wody, zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia i wahań temperatury. 

 

Skontaktuj się z ekspertem SMC już teraz i dowiedz się, w jaki sposób rozwiązania SMC High Vacuum mogą zapewnić najwyższą wydajność Twojego systemu.