Hitta rätt artikel
Utforska produktsortimentet
Behöver du hjälp att välja rätt produkt?
Tryggt, enkelt, låg vikt och ökad driftsäkerhet med SMC:s trådlösa system
Hjälp & Support
Manualer & Nedladdningar
Resurser
Lär känna SMC
Våra åtaganden
Kontakt och kontor
Om den gör det, är vår högkvalitativa kringutrustning precis vad du behöver för att avlufta och leverera atmosfärstryck till din vakuumkammare när du bearbetar skivor och LCD.
SMC: s högvakuumlösningar ger hög prestanda samtidigt som de uppfyller förutsättningarna för minimalt läckage, renrumsspecifikationer, korrosionsbeständighet, lång livslängd och minimalt underhåll.
Våra engagerade och kompetenta experter står till ditt förfogande för dina lösnings- och produktbehov. Dessutom får du tillgång till SMC: s globala täckning och tillverkningskapacitet.
Högvakuumteknik är avgörande inom avancerad forskning och industriella processer, inklusive analysinstrument, beläggningssystem och rymdsimuleringskammare. SMC tillhandahåller komponenter som garanterar tättslutande prestanda, exakt temperaturreglering och noggrann tryckkontroll – vilket är viktigt i miljöer där även den minsta avvikelsen kan påverka resultaten. Oavsett om du utvecklar nästa generations material eller utför högprecisionsexperiment levererar SMC lösningar som håller dina system stabila och pålitliga.
Klicka på bilden för mer information.
N2-gas/luftrör
Avgasrör
Slitsventil och överföring
Styrning av luftdrivna ventiler
Temperaturjustering
För att upprätthålla kammarens integritet och förhindra kontaminering tillförs ren kväve eller luft genom kontrollerade tillförselledningar. Dessa ledningar stöder ventilaktivering och kammarrengöring, vilket säkerställer stabila tryckförhållanden under bearbetning.
XVD Serien
XSA Serien
SF Serien
PFCQ Serien
ISEC(H) Serien
Effektiv evakuering av processgaser är avgörande för att upprätthålla höga vakuumnivåer. Avgasledningar utrustade med släta ventil- och vinkelventiler möjliggör kontrollerad tryckavlastning, vilket minimerar partikelskapande och säkerställer snabb återhämtning av kammaren.
XL/XM/XY Serien
Slitventiler möjliggör ren och precis överföring av wafer mellan vakuumkammare, och upprätthåller vakuumintegritet under load-lock-operationer. Komplementära komponenter såsom stavlösa cylindrar och joniserare stödjer smidig, partikkelfri rörelse och kontroll av elektrostatisk urladdning, vilket säkerställer pålitlig och kontaminationsfri hantering under hela överföringsprocessen.
XGTP Serien
CYV Serien
IZS/IZT Serierna
XT661-X260 Serien
Luftdrivna ventiler kräver en stabil och ren pneumatisk försörjning för att fungera pålitligt i högvakuumsystem. Komponenter såsom fyrpositions dubbel 3-portventil och rena regulatorer säkerställer exakt styrning, vilket stödjer konsekvent ventilprestanda samtidigt som risken för kontaminering minimeras.
SJ Serien
SY Serien
Kylvattensystem hjälper till att avleda värme som genereras under vakuumoperationer, vilket skyddar utrustning och upprätthåller optimala förhållanden i kammaren. Filter och flödesregleringsventiler säkerställer ren och stabil vattencirkulation, vilket minskar risken för kontaminering och termiska fluktuationer.
HRZC Serien
KKA Serien
FQ1 Serien
ISE20C(H) Serien
PF3W-Z Serien
JSX Serien
Nästan ingen annan industri präglas lika mycket av snabb utveckling och förändring som elektronikindustrin. Dagens trender är morgondagens naturliga standarder.
Om du behöver högteknologiska lösningar, kvalitetsprodukter med lång livslängd och kanske till och med minikomponenter.
Kontakta en SMC-expert och se hur SMC:s högvakuum-lösningar kan säkerställa en toppprestanda för ditt system.
