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Soluzioni per alto vuoto

Le nostre soluzioni per alto vuoto si sono evolute per soddisfare le esigenze sempre più complesse della produzione di semiconduttori e di componenti high-tech.

Il tuo processo produttivo prevede l'utilizzo di una delle seguenti apparecchiature?

  • Apparecchiature per l'incisione chimica;
  • Apparecchiature per la polverizzazione catodica;
  • Apparecchiature per l'impianto ionico;
  • Apprecchiature CVD.

In tal caso, i nostri componenti sono quello di cui hai bisogno per scaricare l'aria dalla tua camera con vuoto e alimentarla con pressione atmosferica durante la lavorazione di semiconduttori e LCD.

Le soluzioni SMC per alto vuoto garantiscono prestazioni elevate e soddisfano i requisiti richiesti quali tenuta stagna, specifiche di pulizia, resistenza alla corrosione, lunga durata e tempi di manutenzione ridotti al minimo.

I nostri esperti sono a tua disposizione per soddisfare le tue specifiche esigenze in termini di prodotti ed assistenza sul campo.

Applicazioni

La tecnologia dell'alto vuoto è fondamentale nella ricerca avanzata e nei processi industriali quali straumenti analitici, sistemi di rivestimento e camere di simulazione spaziale.
SMC fornisce componenti che garantiscono tenuta stagna, regolazione termica precisa e un controllo accurato della pressione: caratteristiche essenziali in ambienti in cui anche la più piccola deviazione può influire sul risultato finale. Che si tratti di sviluppare materiali di nuova generazione o di condurre esperimenti di alta precisione, SMC offre soluzioni in grado di garantire la stabilità e l'affidabilità dei tuoi sistemi.

Soluzioni SMC per alto vuoto

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Alimentazione aria e gas

Per preservare l'integrità della camera bianca ed evitare contaminazioni, l'azoto o l'aria pulita vengono immesse attraverso linee di alimentazione controllate. Queste linee consentono l'azionamento delle valvole e lo spurgo della camera, garantendo condizioni di pressione stabili durante il processo.

Linea di scarico

Un'efficiente evacuazione dei gas di processo è fondamentale per mantenere livelli elevati di vuoto. Le linee di scarico dotate di valvole di sfiato e valvole angolari consentono uno scarico controllato della pressione, riducendo al minimo la generazione di particelle e garantendo un rapido recupero della camera.

Slit valve e Movimentazione

Le slit valve consentono un trasferimento pulito e preciso dei semiconduttori tra le camere di vuoto, mantendendo l'integrità del vuoto durante le operazioni di carico-scarico. Componenti complementari quali cilindri, senza stelo e ionizzatori garantiscono un movimento fluido e privo di particelle, oltre ad un controllo delle cariche elettrostatiche, ssicurando così una movimentazione affidabile e priva di contaminazioni durante l'intero processo di trasferimento.

Elettrovalvole

Le valvole per il controllo direzionale richiedono un'alimentazione pneumatica stabile e pulita per funzionare in modo affidabile nei sistemi ad alto vuoto. Componenti come le elettrovalvola a 4 vie garantiscono un azionamento preciso, assicurando prestazioni costanti e riducendo al minimo i rischi di contaminazione.

Controllo della temperatura

I sistemi di raffreddamento ad acqua contribuiscono a dissipare il calore generato durante le operazioni sotto vuoto, proteggendo le apparecchiature e mantenendo condizioni ottimali all'interno della camera. I filtri e le valvole di regolazione del flusso garantiscono una circolazione dell'acqua pulita e stabile, riducendo il rischio di contaminazione e di sbalzi termici. 


Contatta subito un esperto SMC e scopri come le nostre soluzioni per alto vuoto possono garantire prestazioni ottimale al tuo sistema.