Izbira izdelka
×

Košarica (podrobnosti)
Številka artikla

Moj račun

×

Dobrodošli v SMC

Zagotovite vrhunsko delovanje vašega sistema

Rešitve za visoki vakuum

Naše rešitve za visoki vakuum so se razvile, da bi zadostile vse bolj kompleksnim zahtevam proizvodnje polprevodnikov in drugih visokotehnoloških industrij.

Ali vaš proizvodni proces vključuje kaj od navedenega?

  • Oprema za jedkanje
  • Oprema za brizganje
  • Oprema za ionsko implantacijo
  • Oprema za nanašanje kemičnih hlapov (CVD)

Potem je naša visoko kakovostna periferna oprema ravno tisto, kar potrebujete za odvajanje zraka ali dovajanje atmosferskega tlaka v vašo vakuumsko komoro pri procesiranju polprevodniških rezin in LCD prikazovalnikov.

SMC rešitve za visoki vakuum zagotavljajo visoko zmogljivost ob izpolnjevanju zahtevanih pogojev, kot so popolno tesnjenje, čiste specifikacije, odpornost proti koroziji, dolga življenjska doba in minimalni čas vzdrževanja

Naši predani in strokovno usposobljeni sodelavci so vam na voljo, da poskrbijo za potrebe na vašem področju.

Aplikacije

Tehnologija visokega vakuuma je ključnega pomena v naprednih raziskavah in industrijskih procesih, vključno z analitičnimi instrumenti, sistemi premazov in komorami za vesoljsko simulacijo. SMC zagotavlja komponente, ki zagotavljajo tesnost, natančno regulacijo temperature in natančen nadzor tlaka – kar je bistveno za okolja, kjer lahko že najmanjše odstopanje vpliva na rezultate. Ne glede na to, ali razvijate materiale naslednje generacije ali izvajate visoko natančne poskuse, SMC ponuja rešitve, ki ohranjajo vaše sisteme stabilne in zanesljive.

Rešitve za visoki vakuum podrobno

Za več informacij kliknite na spodnjo sliko.

Plin N2 /dovodni kanali

Za ohranitev celovitosti komore in preprečevanje kontaminacije se čist dušik ali zrak dovaja skozi nadzorovane dovodne kanale. Ti kanali podpirajo aktiviranje ventilov in čiščenje komore, kar zagotavlja stabilne tlačne pogoje med obdelavo.

Izpušni kanali

Učinkovito odvajanje procesnih plinov je ključnega pomena za vzdrževanje visoke ravni vakuuma. Izpušni kanali, opremljeni z gladkim odzračevalnim in kotnim ventilom, omogočajo nadzorovano sproščanje tlaka, kar zmanjšuje nastajanje delcev in zagotavlja hitro obnovitev komore.

Zaporni ventili in prenos

Zaporni ventili omogočajo čist in natančen prenos rezin med vakuumskimi komorami, pri čemer ohranjajo neprekinjenost vakuuma med delovanjem prehodne komore. Dodatne komponente, kot so brezbatnični cilindri in ionizatorji, omogočajo nemoteno gibanje ter nadzor nad elektrostatičnimi razelektritvami, s čimer zagotavljajo zanesljivo obdelavo brez kontaminacije skozi celoten proces prenosa.  

Pnevmatsko krmiljeni ventili

Pnevmatsko krmiljeni ventili za zanesljivo delovanje v sistemih z visokim vakuumom potrebujejo stabilno in čisto pnevmatsko napajanje. Komponente, kot so štiripoložajni dvojni 3-potni ventili in čisti regulatorji, zagotavljajo natančno delovanje, kar omogoča dosledno zmogljivost ventilov in hkrati zmanjšuje tveganje onesnaženja. 

 


Stopite v stik z našimi strokovnjaki in preverite, kako lahko SMC rešitve za visok vakuum zagotovijo vrhunsko delovanje vašega sistema.