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Solutions pour le vide poussé

Nos solutions pour le vide poussé ont évolué pour répondre aux exigences de plus en plus complexes de la fabrication de semi-conducteurs et d'autres secteurs de haute technologie.

Votre processus de fabrication comprend-il l'un des équipements suivants ?

  • Équipements de gravure
  • Équipements de pulvérisation cathodique
  • Équipements d'implantation ionique
  • Équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Si tel est le cas, nos équipements périphériques de haute qualité sont exactement ce qu'il vous faut pour évacuer l'air et maintenir la pression atmosphérique dans votre chambre à vide lors du traitement des plaquettes et des écrans LCD.

Les solutions pour le vide poussé de SMC offrent des performances élevées tout en répondant aux exigences requises, telles que l'étanchéité, les spécifications de propreté, la résistance à la corrosion, une longue durée de vie et un temps de maintenance réduit au minimum.

Nos professionnels engagés et hautement qualifiés sont à votre disposition pour répondre à vos besoins en matière de services et de produits sur le terrain, en complément de la couverture mondiale et des capacités de fabrication de SMC.

Applications

La technologie du vide poussé est essentielle dans la recherche de pointe et les processus industriels, notamment pour les instruments d'analyse, les systèmes de revêtement et les chambres de simulation spatiale. SMC fournit des composants qui garantissent une étanchéité parfaite, une régulation thermique précise et un contrôle précis de la pression — des éléments indispensables dans les environnements où le moindre écart peut avoir une incidence sur les résultats. Que vous développiez des matériaux de nouvelle génération ou meniez des expériences de haute précision, SMC propose des solutions qui assurent la stabilité et la fiabilité de vos systèmes.

Les solutions pour le vide poussé en détail

Cliquez sur l'image ci-dessous pour plus d'informations.

Conduite d'alimentation en azote/air

Afin de préserver l'intégrité de la chambre et d'éviter toute contamination, de l'azote ou de l'air pur est introduit par des conduites d'alimentation contrôlées. Ces conduites permettent l'actionnement des vannes et la purge de la chambre, garantissant ainsi des conditions de pression stables pendant le traitement.

Conduite d'échappement

Une évacuation efficace des gaz de procédé est essentielle pour maintenir des niveaux de vide élevés. Les conduites d'évacuation équipées de vannes de purge et de vannes d'angle à passage lisse permettent une libération contrôlée de la pression, ce qui réduit au minimum la génération de particules et garantit une remise à niveau rapide de la chambre.

Vanne à fente et transfert

Les vannes fendues permettent un transfert propre et précis des plaquettes entre les chambres à vide, tout en préservant l'intégrité du vide pendant les opérations de transfert. Des composants complémentaires, tels que des vérins sans tige et des ioniseurs, assurent un mouvement fluide et exempt de particules ainsi que le contrôle des décharges électrostatiques, garantissant ainsi une manipulation fiable et sans contamination tout au long du processus de transfert.

Commande de vannes pneumatiques

Les vannes pneumatiques nécessitent une alimentation pneumatique stable et propre pour fonctionner de manière fiable dans les systèmes à vide poussé. Des composants tels que les vannes à 4 positions à double 3 voies et les régulateurs de pureté garantissent un actionnement précis, assurant ainsi des performances constantes des vannes tout en minimisant les risques de contamination.

Ligne de réglage de la température

Les systèmes d'eau de refroidissement permettent d'évacuer la chaleur générée lors des opérations sous vide, ce qui protège les équipements et garantit le maintien de conditions optimales dans la chambre. Les filtres et les vannes de régulation du débit assurent une circulation d'eau propre et stable, réduisant ainsi le risque de contamination et les fluctuations thermiques. 

 

Contactez dès maintenant un expert SMC et découvrez comment les solutions de vide poussé SMC peuvent garantir des performances optimales à votre système.