Ürün seçimi
×

Ayrıntılara git
Parça numarası

Hesabım

×

Sisteminizin en verimli şekilde çalışmasını sağlayın.

Yüksek vakum çözümleri

Yüksek vakum çözümlerimiz, yarı iletken üretimi ve diğer yüksek teknoloji endüstrilerinin giderek karmaşıklaşan taleplerini karşılamak üzere gelişmiştir.

Üretim süreciniz aşağıdakilerden herhangi birini içeriyor mu?

  • Eç ekipmanları
  • Sputtering ekipmanları
  • İyon implantasyon ekipmanları
  • CVD ekipmanları

Eğer öyleyse; wafer (gofret) ve LCD işleme süreçlerinde, vakum odanızdaki havayı tahliye etmek ve odaya atmosferik basınç sağlamak için tam olarak ihtiyaç duyduğunuz şey, yüksek kaliteli çevre birimi ekipmanlarımızdır.

SMC’nin yüksek vakum çözümleri, sızdırmazlık, temizlik standartları, korozyon direnci, uzun hizmet ömrü ve minimum bakım süresi gibi gerekli koşulları karşılarken yüksek performans sağlar.

SMC’nin küresel ağı ve üretim gücüne ek olarak, alanında uzman ve özel olarak eğitilmiş profesyonellerimiz; saha çözümleri, servis ve ürün ihtiyaçlarınız için her zaman hizmetinizdedir.

Uygulama Örnekleri

Yüksek vakum teknolojisi; analitik cihazlar, kaplama sistemleri ve uzay simülasyon odaları gibi gelişmiş araştırma ve endüstriyel proseslerde kritik bir rol oynar. SMC; sızdırmaz performans, hassas termal kontrol ve doğru basınç kontrolü sağlayan bileşenler sunar. Bu özellikler, en küçük bir sapmanın bile sonuçları etkileyebileceği ortamlarda büyük önem taşır.

Yüksek Vakum Çözümleri Detaylı İnceleme

Ayrıntılı bilgi için aşağıdaki görsele tıklayın.

N₂ gazı / Basınçlı hava hattı

Odacık bütünlüğünü korumak ve kontaminasyonu önlemek için, kontrollü besleme hatları aracılığıyla temiz azot veya hava verilir. Bu hatlar, valf çalıştırma ve odacık temizleme (purge) işlemlerini destekleyerek, işlem sırasında stabil basınç koşullarının sağlanmasını garantiler.

Tahliye hattı

İşlem gazlarının etkin tahliyesi, yüksek vakum seviyelerinin korunması açısından kritiktir. Düz akışlı (smooth vent) ve açısal (angle) valflerle donatılmış tahliye hatları, basıncın kontrollü şekilde boşaltılmasını sağlar, partikül oluşumunu en aza indirir ve odacığın hızlı şekilde toparlanmasını garanti eder.

Slit valf ve transfer sistemi

Slit valfler, vakum odacıkları arasında wafer’ların temiz ve hassas şekilde transferini sağlar ve yük kilidi (load-lock) işlemleri sırasında vakum bütünlüğünü korur. Milsiz silindirler ve iyonizerler gibi tamamlayıcı bileşenler, parçacık oluşumunu önleyen pürüzsüz hareket ve elektrostatik deşarj kontrolü sağlayarak, transfer süreci boyunca güvenilir ve kontaminasyonsuz taşımayı garanti eder.

Pnömatik valfler

Pnömatik kumandalı (air operated) valflerin, yüksek vakum sistemlerinde güvenilir çalışabilmesi için stabil ve temiz bir pnömatik besleme gereklidir. 4 konumlu, çift 3 portlu valfler ve temiz regülatörler gibi bileşenler, hassas valf çalıştırmayı sağlar, valf performansının tutarlı olmasını destekler ve kontaminasyon risklerini en aza indirir.

Sıcaklık Kontrol Hattı

Soğutma suyu sistemleri, vakum işlemleri sırasında oluşan ısıyı dağıtarak ekipmanı korur ve odacık koşullarının optimum seviyede kalmasını sağlar. Filtreler ve akış kontrol valfleri, temiz ve stabil su sirkülasyonunu garanti ederek kontaminasyon riskini ve sıcaklık dalgalanmalarını azaltır. 

Şimdi bir SMC uzmanıyla iletişime geçin ve SMC Yüksek Vakum çözümlerinin sisteminiz için sağlayacağı yüksek performansı keşfedin.