Výber prvkov
×

Ísť na "Obsah košíka"
Objednávací kód

Môj účet

×

Vitajte v SMC !

Maximálny výkon pre váš systém

Komponenty pre vysoké vákuum

Naše riešenia pre vysoké vákuum sa neustále vyvíjajú, aby držali krok s rastúcimi požiadavkami výroby polovodičov a ďalších špičkových technologických odvetví.

Zahŕňa váš výrobný proces niektoré z uvedených zariadení?

  • Zariadenia na leptanie
  • Zariadenia na rozprašovanie
  • Zariadenia na iontovú implantáciu

CVD zariadenia.

Ak áno, naše vysoko kvalitné komponenty pre vysoké vákuum sú presne to, čo potrebujete na odsávanie vzduchu a prívod atmosférického tlaku do vákuovej komory pri výrobe polovodičových diskov a LCD panelov.

Komponenty pre vysoké vákuum od spoločnosti SMC poskytujú vysoký výkon pri splnení požadovaných podmienok, ako sú tesnosť, použitie v čistom prostredí, odolnosť proti korózii, dlhá životnosť a minimálne nároky na údržbu.

K dispozícii je vám globálny tím odborníkov spoločnosti SMC, ktorý je pripravený ponúknuť vám riešenia a produkty presne pre vaše aplikácie.

Aplikácie

Technológia vysokého vákua je nenahraditeľná pre špičkový výskum aj náročné priemyselné aplikácie – od analytických prístrojov cez systémy nanášania povlakov až po komory na simuláciu kozmického prostredia. SMC ponúka komponenty zabezpečujúce maximálnu tesnosť, presnú reguláciu teploty a spoľahlivé riadenie tlaku, ktoré sú rozhodujúce tam, kde záleží na každom detaile. SMC dodáva riešenia, ktoré zabezpečujú stabilitu a spoľahlivosť vašich systémov, od vývoja materiálov novej generácie až po vysoko presné experimenty.

Viac informácií o komponentoch pre vysoké vákuum
Kliknite na obrázok nižšie pre viac informácií.

N2 gas/Air supply line

Na zachovanie integrity vákuovej komory a zabránenie jej kontaminácii sa do systému privádza čistý dusík alebo vzduch prostredníctvom riadených prívodných potrubí. Tieto potrubia slúžia na pneumatické ovládanie ventilov a preplachovanie komory a zabezpečujú stabilné tlakové podmienky počas technologického procesu.

Exhaust line

Efektívne odvádzanie procesných plynov je kľúčové pre udržanie vysokej úrovne vákua. Potrubia na odvádzanie procesných plynov sú vybavené ventilmi a uhlovými ventilmi na plynulú reguláciu odvzdušňovania, čím sa minimalizuje tvorba častíc a zabezpečuje rýchla regenerácia vákuovej komory.

Slit valve and Transfer

Nožové ventily umožňujú čistý a presný presun polovodičových doštičiek (waferov) medzi vákuovými komorami a zachovávajú integritu vákua počas operácií load-lock (vstupná komora/uzáver). Ďalšie komponenty, ako sú bezpiestové valce a ionizátory, podporujú plynulý pohyb s minimálnou tvorbou častíc a riadenie statickej elektriny, čím zabezpečujú spoľahlivú manipuláciu bez kontaminácie v celom procese prenosu.

Driving air operated valves

Pneumaticky ovládané ventily v systémoch vysokého vákua vyžadujú stabilný prívod stlačeného vzduchu s vysokou čistotou. Komponenty, ako sú 2x3/2 ventily a regulátory tlaku pre čisté prostredie, zabezpečujú presné ovládanie a vysoký výkon ventilov pre vysoké vákuum bez rizika kontaminácie.

Temperature adjustment line

Systémy chladiacej vody slúžia na odvádzanie tepla vznikajúceho pri prevádzke vákuových systémov, čím zabezpečujú ochranu zariadenia a stabilné procesné podmienky v komore. Filtre a ventily na reguláciu prietoku zabezpečujú stabilnú cirkuláciu čistej chladiacej vody a obmedzujú riziko kontaminácie a kolísania teploty.

 

Obráťte sa na odborníkov spoločnosti SMC a presvedčte sa sami, ako komponenty SMC pre vysoké vákuum zabezpečia maximálny výkon vášho systému.