Výběr prvků
×

Jít na "Obsah košíku"
Objednací kód

Můj účet

×

Vítejte u SMC !

Maximální výkon pro váš systém

Prvky pro vysoké vakuum

Naše řešení pro vysoké vakuum se neustále vyvíjejí, aby držela krok s narůstajícími nároky polovodičové výroby a dalších špičkových technologických odvětví.

Zahrnuje váš výrobní proces některé z uvedených zařízení?

  • Zařízení pro leptání
  • Zařízení pro rozprašování
  • Zařízení pro iontovou implantaci
  • CVD zařízení

Pokud ano, naše vysoce kvalitní prvky pro vysoké vakuum jsou přesně to, co potřebujete pro odčerpání vzduchu a přívod atmosférického tlaku do vakuové komory při výrobě polovodičových disků a LCD panelů.

Prvky pro vysoké vakuum od SMC poskytují vysoký výkon při splnění požadovaných podmínek, jako jsou těsnost, použití pro čisté prostředí, odolnost proti korozi, dlouhá životnost a minimální nároky na údržbu.

K dispozici je vám globální tým SMC odborníků, který je připraven vám nabídnout řešení a produkty přesně pro vaše aplikace.

Aplikace

Technologie vysokého vakua je nepostradatelná pro špičkový výzkum i náročné průmyslové aplikace – od analytických přístrojů přes povlakovací systémy až po komory pro simulaci kosmického prostředí. SMC nabízí komponenty zajišťující maximální těsnost, přesnou tepelnou regulaci a spolehlivé řízení tlaku, které jsou rozhodující tam, kde záleží na každém detailu. SMC dodává řešení, která zajišťují stabilitu a spolehlivost vašich systémů, od vývoje materiálů nové generace až po vysoce přesné experimenty.

 

Více informací k prvkům pro vysoké vakuum

Klikněte na obrázek níže pro více informací.

Přívod dusíku a vzduchu

Pro zachování integrity vakuové komory a zabránění její kontaminace je do systému přiváděn čistý dusík nebo vzduch prostřednictvím řízených přívodních potrubí. Tato potrubí se používají pro pneumatické ovládání ventilů a proplach komory, a zajišťují stabilní tlakové podmínky během technologického procesu.

Odvod plynů

Efektivní odvod procesních plynů je zásadní pro udržení vysoké úrovně vakua. Potrubí pro odvod procesních plynů jsou vybavena ventily a úhlovými ventily pro plynulou regulaci odvzdušnění, minimalizující tvorbu částic a zajišťující rychlou regeneraci vakuové komory.

Nožový ventil a přesun disků

Nožové ventily umožňují čistý a přesný přenos polovodičových disků (waferů) mezi vakuovými komorami a zachovávají integritu vakua během load-lock operací (vstupní komora/uzávěr). Další komponenty, jako jsou bezpístnicové válce a ionizéry, podporují plynulý pohyb s minimální tvorbou částic a řízení statické elektřiny, čímž zajišťují spolehlivou manipulaci bez kontaminace v celém procesu přenosu.

Vzduchem ovládané ventily

Vzduchem ovládané ventily v systémech vysokého vakua vyžadují stabilní pneumatické napájení vysoké čistoty. Prvky jako jsou 2x3/2 ventily a regulátory tlaku pro čisté prostředí zajišťují přesné ovládání a vysoký výkon ventilů pro vysoké vakuum bez rizika kontaminace.

Systém chladicí vody

Systémy chladicí vody slouží k odvodu tepla generovaného při provozu vakuových systémů, čímž zajišťují ochranu zařízení a stabilní procesní podmínky v komoře. Filtry a ventily pro řízení průtoku zajišťují stabilní cirkulaci čisté chladicí vody a omezují riziko kontaminace a kolísání teploty.

 


Kontaktuje SMC odborníky a přesvědčte se sami, jak SMC prvky pro vysoké vakuum zajistí maximální výkon pro váš systém.