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Catalogo prodotti

Valvole a slitta

Famiglie

XGTP
Nuovo

XGTP

  • Slit Valve con tenuta parallela per wafer di 300 mm
  • Lunga vita operativa di 3 milioni di cicli
  • Generazione di particelle ridotta di 1/5 ed oltre
  • Blocco meccanico a fine corsa
  • Facile sostituzione dei soffietti accessibili dall'alto (esecuzione speciale)
  • Intercambiabile con il prodotto XGT attuale.

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XGT

XGT

La serie XGT di valvole a slitta è adatta come valvola di divisione fra la camera di bloccaggio carico e la camera di trasferimento e fra la camera di trasferimento e la camera di lavorazione nei macchinari di produzione dei semiconduttori, ecc.

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