Valvole a slitta per alto vuoto

• Slit Valve con tenuta parallela per wafer di 300 mm
• Lunga vita operativa di 3 milioni di cicli
• Generazione di particelle ridotta di 1/5 ed oltre
• Blocco meccanico a fine corsa
• Facile sostituzione dei soffietti accessibili dall’alto (esecuzione speciale)
• Intercambiabile con il prodotto XGT attuale.

La serie XGT di valvole a slitta è adatta come valvola di divisione fra la camera di bloccaggio carico e la camera di trasferimento e fra la camera di trasferimento e la camera di lavorazione nei macchinari di produzione dei semiconduttori, ecc.