Výběr prvků
×

Jít na "Obsah košíku"

SMC Industrial Automation CZ s.r.o.

Objednací kód

Registrace neexistuje. Prosím kontaktujte sales@smc.cz

Můj účet

×

Vítejte u SMC !

Odhlášení
  1. Domů
  2. Produkty a podpora
  3. Řešení pro průmysl
  4. Elektronický průmysl
  5. Proces sušení (ventil pro vysoké vakuum)
  6. Nožový ventil pro vysoké vakuum - manipulace

Digitální katalog

Nožový ventil pro vysoké vakuum - manipulace

Kategorie

XGTP
Novinky

XGTP

  • Štěrbinový ventil s paralelním těsněním pro 300 mm waferu
  • Dlouhá životnost 3 miliony cyklů
  • Generování částic sníženo o 1/5 nebo více
  • Mechanický zámek polohy
  • Měchy jsou snadno vyměnitelné a přístupné shora (na objednávku)
  • Zaměnitelné se současným provedením XGT.

XGT

XGT

Řada přihrádkových ventilů XGT je určena pro oddělování mezi nakládací komorou a komorou pro přesun a mezi komorou pro přesun pracovní komorou v zařízeních pro výrobu polovodičů a tak podobně.

Nebyly nalezeny žádné výsledky odpovídající zadaným kritériím.