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Soluciones para alto vacío

Nuestras soluciones de alto vacío han evolucionado para satisfacer las demandas cada vez más complejas de la fabricación de semiconductores y otras industrias de alta tecnología.

¿Tu proceso de fabricación incluye alguno de los siguientes elementos?

  • Equipos de grabado.
  • Equipos de pulverización ionizada.
  • Equipos de implantación de iones.
  • Equipos de deposición química en fase vapor (CVD).

Si es así, nuestros equipos periféricos de alta calidad son precisamente lo que necesitas para extraer el aire y suministrar presión atmosférica a tu cámara de vacío durante el procesamiento de placas y pantallas LCD.

Las soluciones de alto vacío de SMC ofrecen un alto rendimiento y cumplen las condiciones requeridas, como ausencia de fugas, especificaciones de limpieza, resistencia a la corrosión, larga vida útil y tiempo de mantenimiento mínimo.

Aplicaciones

La tecnología de alto vacío es fundamental en la investigación avanzada y los procesos industriales, incluidos los instrumentos analíticos y los sistemas de revestimiento.

SMC proporciona componentes que garantizan un rendimiento hermético, una regulación térmica precisa y un control de presión exacto, esenciales para entornos en los que incluso la más mínima desviación puede afectar a los resultados.

Tanto si estás desarrollando materiales de última generación como si estás realizando experimentos de alta precisión, SMC te ofrece soluciones que mantienen tus sistemas estables y fiables.

Soluciones de alto vacío

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Línea de suministro de gas N2/aire

Para mantener la integridad de la cámara y evitar la contaminación, se introduce nitrógeno limpio o aire a través de líneas de suministro controladas. Estas líneas permiten el accionamiento de las válvulas y la purga de la cámara, lo que garantiza unas condiciones de presión estables durante el procesamiento.

Línea de escape

La evacuación eficiente de los gases de proceso es fundamental para mantener altos niveles de vacío. Las líneas de escape equipadas con válvulas de escape y válvulas en ángulo permiten una liberación controlada de la presión, lo que minimiza la generación de partículas y garantiza una rápida recuperación de la cámara.

Válvula de hendidura y transferencia

Las válvulas de hendidura permiten una transferencia limpia y precisa de las placas entre las cámaras de vacío, manteniendo la integridad del vacío durante las operaciones de bloqueo de carga. Los componentes complementarios, como los cilindros sin vástago y los ionizadores, favorecen un movimiento suave y sin partículas y controlan las descargas electrostáticas, lo que garantiza una manipulación fiable y libre de contaminación durante todo el proceso de transferencia.

Válvulas neumáticas

Las válvulas neumáticas requieren un suministro de aire comprimido estable y limpio para funcionar de forma fiable en sistemas de alto vacío. Componentes como las válvulas duales de 3 vías y 4 posiciones y los reguladores limpios garantizan un accionamiento preciso, lo que favorece un rendimiento constante de las válvulas y minimiza los riesgos de contaminación.

Línea de ajuste de temperatura

Los equipos de refrigeración de agua ayudan a disipar el calor generado durante las operaciones de vacío, protegiendo los equipos y manteniendo unas condiciones óptimas en la cámara. Los filtros y las válvulas de control de caudal garantizan una circulación de agua limpia y estable, reduciendo el riesgo de contaminación y fluctuaciones térmicas. 

 

Contacta con un especialista de SMC ahora mismo y descubre cómo las soluciones de alto vacío de SMC pueden garantizar el máximo rendimiento de tu sistema.