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Hochvakuum-Lösungen

Befasst sich Ihr Herstellungsprozess mit einem der nachfolgenden Punkte?
 

  • Trockenätzanlagen
  • Sputter-Anlagen
  • Ionenimplantationsanlagen
  • CVD- und PVD-Anlagen

Ist dies der Fall, dann sind unsere hochwertigen Peripherieprodukte genau das, was Sie benötigen, um Ihre Vakuumkammer bei der Verarbeitung von Wafern und LCDs zu entlüften und mit atmosphärischem Druck zu versorgen.

Die Hochvakuum-Lösungen von SMC bieten eine hohe Leistungsfähigkeit bei gleichzeitigem Erfüllen der geforderten Bedingungen wie Leckagefreiheit, Reinheit, Korrosionsbeständigkeit, lange Lebensdauer und minimaler Wartungsaufwand.


Unsere engagierten und fachkundig geschulten Experten stehen Ihnen gerne zur Seite, um Sie gemäß Ihrer individuellen Service- und Produktanforderungen zu beraten.

Überzeugen Sie sich selbst, wie SMC Ihnen helfen kann, Ihre Anlagen zu Höchstleistungen anzutreiben.

Produkte

Entdecken Sie unsere Hochvakuumprodukte und erfüllen Sie nicht nur die Anforderungen Ihrer Industrie, sondern definieren Sie Ihre perfekte Lösung.

Anwendungen

Wie sich Hochvakuum-Lösungen von SMC erfolgreich an die Bedürfnisse unserer Kunden anpassen - nachstehend ein paar Anwendungsbeispiele:

Herstellung von Halbleiter-Bauelementen

Photolithographische und chemische Verarbeitung zur Herstellung integrierter elektronischer Schaltkreise

Herstellung von Halbleiter-Bauelementen

Photovoltaischer Herstellungsprozess

Produktion von kristallinen Siliziumzellen und Dünnfilmbeschichtung zur Herstellung von Solarzellen

Photovoltaischer Herstellungsprozess

Dichtheitsprüfung für die Automobilindustrie

Einspritzsysteme, Airbag-Zünder, Kraftstofftanks, Luftfederung und Klimaanlagen

Dichtheitsprüfung für die Automobilindustrie