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Soluciones de alto vacío

Nuestras soluciones de alto vacío han evolucionado para satisfacer las exigencias cada vez más complejas de la fabricación de semiconductores y otras industrias de alta tecnología.

¿Su proceso de fabricación incluye alguno de los siguientes elementos?

  • Equipos de grabado
  • Equipos de pulverización catódica
  • Equipos de implantación iónica
  • Equipos de CVD.

Si es así, nuestros equipos periféricos de alta calidad son justo lo que necesitas para extraer el aire y suministrar presión atmosférica a tu cámara de vacío durante el procesamiento de obleas y pantallas LCD.

Las soluciones de alto vacío de SMC ofrecen un alto rendimiento al tiempo que cumplen con los requisitos necesarios, tales como ausencia de fugas, especificaciones de limpieza, resistencia a la corrosión, larga vida útil y tiempo de mantenimiento mínimo.

Nuestros profesionales, comprometidos y con una formación especializada, están a su disposición para atender sus necesidades de servicio y productos de soluciones de campo, además de cobertura global y capacidad de fabricación de SMC.

Aplicaciones

La tecnología de alto vacío es fundamental en la investigación avanzada y en los procesos industriales, incluyendo instrumentos analíticos, sistemas de recubrimiento y cámaras de simulación espacial. SMC ofrece componentes que garantizan un funcionamiento sin fugas, una regulación térmica precisa y un control exacto de la presión, aspectos esenciales en entornos en los que incluso la más mínima desviación puede afectar a los resultados. Tanto si estás desarrollando materiales de última generación como si estás llevando a cabo experimentos de alta precisión, SMC te ofrece soluciones que mantienen la estabilidad y la fiabilidad de tus sistemas.

Soluciones de alto vacío en detalle

Haga clic en la imagen de abajo para obtener más información.

Suministro de gas N₂/aire

Para mantener la integridad de la cámara y evitar la contaminación, se introduce nitrógeno o aire limpio a través de conductos de suministro controlados. Estos conductos permiten el accionamiento de las válvulas y la purga de la cámara, lo que garantiza unas condiciones de presión estables durante el procesamiento.

Escape

La evacuación eficaz de los gases de proceso es fundamental para mantener altos niveles de vacío. Las líneas de escape, equipadas con válvulas de purga lisas y válvulas angulares, permiten una liberación controlada de la presión, lo que minimiza la generación de partículas y garantiza una rápida recuperación de la cámara.

Slit valve and Transfer

Las válvulas de compuerta permiten una transferencia limpia y precisa de las obleas entre las cámaras de vacío, manteniendo la integridad del vacío durante las operaciones de la cámara de carga. Los componentes complementarios, como los cilindros sin vástago y los ionizadores, favorecen un movimiento suave y libre de partículas, así como el control de las descargas electrostáticas, lo que garantiza una manipulación fiable y libre de contaminación durante todo el proceso de transferencia.

Driving air operated valves

Air operated valves require a stable and clean pneumatic supply to function reliably in high vacuum systems. Components such as 4-position dual 3-port valves and clean regulators ensure precise actuation, supporting consistent valve performance while minimizing contamination risks.

Temperature adjustment line

Cooling water systems help dissipate heat generated during vacuum operations, safeguarding equipment and maintaining optimal chamber conditions. Filters and flow control valves ensure clean and stable water circulation, reducing the risk of contamination and thermal fluctuations. 

Ponte en contacto con un experto de SMC ahora mismo y descubre cómo las soluciones de alto vacío de SMC pueden garantizar el máximo rendimiento de tu sistema.