Product selecteren
×

Ga naar details
Onderdeelnummer

Mijn account

×

Welkom bij SMC!

Zorg ervoor dat je systeem optimaal presteert

Hoogvacuümoplossingen

Onze hoogvacuümoplossingen zijn geëvolueerd om te voldoen aan de steeds complexere eisen van de halfgeleiderproductie en andere hightech industrieën.

Bestaat jouw productieproces uit een van de volgende toepassingen?

  • Etsapparatuur
  • Sputterapparatuur
  • Ionimplantatieapparatuur
  • CVD-apparatuur

Zo ja, dan is onze hoogwaardige randapparatuur precies wat je nodig hebt om lucht af te voeren uit en atmosferische druk toe te voeren aan je vacuümkamer bij de verwerking van wafers en lcd’s.

De hoogvacuümoplossingen van SMC bieden hoge prestaties en voldoen tegelijkertijd aan de vereiste voorwaarden, zoals lekvrijheid, schone specificaties, corrosiebestendigheid, lange levensduur en minimale onderhoudstijd.

Onze toegewijde en deskundig opgeleide professionals staan voor je klaar om je te ondersteunen bij service in het veld en je productbehoeften, naast SMC’s wereldwijde aanwezigheid en productiecapaciteit.

Toepassingen

Hoogvacuümtechnologie is van cruciaal belang in geavanceerd onderzoek en industriële processen, waaronder analytische instrumenten, coatingsystemen en ruimtesimulatiekamers. SMC levert componenten die lekdichte prestaties, nauwkeurige thermische regeling en precieze drukregeling garanderen — essentieel voor omgevingen waar zelfs de kleinste afwijking invloed kan hebben op de resultaten. Of je nu werkt aan materialen van de volgende generatie of uiterst nauwkeurige experimenten uitvoert, SMC levert oplossingen die je systemen stabiel en betrouwbaar houden.

Hoogvacuümoplossingen in detail

Klik op de afbeelding hieronder voor meer informatie.

N2-gas-/luchttoevoerleiding

Om de integriteit van de kamer te behouden en verontreiniging te voorkomen, wordt schone stikstof of lucht via gecontroleerde toevoerleidingen ingebracht. Deze leidingen ondersteunen de ventielbediening en het spoelen van de kamer, zodat tijdens het proces stabiele drukcondities behouden blijven.

Afvoerleiding

Efficiënte afvoer van procesgassen is essentieel om een hoog vacuümniveau te behouden. Afvoerleidingen met soepel ontluchtings- en hoekventielen maken een gecontroleerde drukafbouw mogelijk, minimaliseren deeltjesvorming en zorgen voor snel herstel van de kamer.

Spleetventiel en overdracht

Spleetventielen maken een schone en nauwkeurige waferoverdracht tussen vacuümkamers mogelijk, waarbij de vacuümintegriteit tijdens load-lockprocessen behouden blijft. Aanvullende componenten zoals stangloze cilinders en ionisatoren ondersteunen soepele, deeltjesvrije beweging en controle van elektrostatische ontlading, waardoor een betrouwbare en contaminatievrije handling gedurende het volledige overdrachtsproces wordt gewaarborgd.

Aangedreven ventielen met stuurlucht

Pneumatisch bediende ventielen hebben een stabiele en schone persluchttoevoer nodig om betrouwbaar te functioneren in hoogvacuümsystemen. Componenten zoals 4-stand 2x3-poortsventielen en clean regelaars zorgen voor nauwkeurige aansturing, ondersteunen consistente ventielprestaties en minimaliseren tegelijkertijd het risico op contaminatie.

Temperatuurregelingsleiding

Koelwatersystemen helpen de warmte af te voeren die tijdens vacuümprocessen ontstaat, waardoor apparatuur wordt beschermd en optimale kamercondities behouden blijven. Filters en flowregelventielen zorgen voor een schone en stabiele watercirculatie, waardoor het risico op contaminatie en thermische schommelingen wordt verminderd. 

Neem nu contact op met een SMC-expert en ontdek hoe de hoogvacuümoplossingen van SMC optimale prestaties voor jouw systeem kunnen garanderen.