Избор на продукт
×

Подробен изглед
Артикулен номер

Моят профил

×

Уверете се, че системата ви работи на максимална мощност

Решения за дълбок вакуум

Нашите решения за дълбок вакуум са се развили, за да отговорят на все по-сложните изисквания на производството на полупроводници и други високотехнологични промишлености.

Вашият производствен процес включва ли някое от следните?

  • Оборудване за ецване
  • Оборудване за разпрашаване
  • Оборудване за йонна имплантация
  • CVD оборудване.

Ако е така, нашето висококачествено периферно оборудване е точно това, от което се нуждаете, за да изсмучете въздуха от вашата вакуумна камера и да подадете атмосферно налягане към нея при обработката на пластини и LCD дисплеи.

Решения за дълкбок вакуум от SMC осигуряват висока производителност, като същевременно отговарят на необходимите условия, като например липса на течове, чисти спецификации, устойчивост на корозия, дълъг експлоатационен живот и минимално време за поддръжка.

Нашите отдадени и експертно обучени специалисти са на ваше разположение, за да се погрижат за вашите нужди от полеви решения, услуги и продукти, в допълнение към глобалното покритие и производство на SMC.

Приложения

Технологията за дълбок вакуум е от решаващо значение за напредналите изследвания и промишлени процеси, включително аналитични инструменти, системи за покрития и камери за космическо симулиране. SMC предоставя компоненти, които гарантират херметичност, прецизна термична регулация и точен контрол на налягането – от съществено значение за среди, където дори най-малкото отклонение може да повлияе на резултатите. Независимо дали разработвате материали от следващо поколение или провеждате високопрецизни експерименти, SMC предоставя решения, които поддържат вашите системи стабилни и надеждни.

Детайлно описание на решенията за висок вакуум

Щракнете върху снимката по-долу за повече информация.

Азотна и захранваща магистрала

За да се поддържа целостта на камерата и да се предотврати замърсяване, чист азот или въздух се подава през контролирани захранващи линии. Тези линии подпомагат задействането на клапаните и продухването на камерата, осигурявайки стабилни условия на налягане по време на обработката.

Линия за разтоварване на вакуума

Ефективното отвеждане на технологичните газове е от решаващо значение за поддържането на високи нива на вакуум. Изпускателните тръби, оборудвани с вентили за плавно разтоварване и ъглови вентили, позволяват контролирано освобождаване на налягането, минимизирайки генерирането на частици и осигурявайки бързо възстановяване на камерата.

Правоъгълни вентили и транспорт

Правоъгълните вентили позволяват чисто и прецизно прехвърляне на пластини между вакуумните камери, поддържайки целостта на вакуума по време на операции с фиксирано натоварване. Допълнителни компоненти, като безпрътови цилиндри и йонизатори, поддържат плавно движение без частици и контрол на електростатичния разряд, осигурявайки надеждна и без замърсяване работа по време на целия процес на прехвърляне.

Задвижване на пневматични вентили

Пневматичните вентили изискват стабилно и чисто пневматично захранване, за да функционират надеждно във високовакуумни системи. Компоненти като разпределители и чисти регулатори осигуряват прецизно задействане, поддържайки постоянна работа на вентилите, като същевременно минимизират рисковете от замърсяване.

Линия за регулиране на температурата

Системите за охлаждаща вода спомагат за разсейване на топлината, генерирана по време на вакуумни операции, предпазвайки оборудването и поддържайки оптимални условия в камерата. Филтрите и вентилите за регулиране на дебита осигуряват чиста и стабилна циркулация на водата, намалявайки риска от замърсяване и температурни колебания. 


Свържете се с експерт на SMC сега и вижте как решенията на SMC за дълбок вакуум могат да осигурят максимална производителност на вашата система.