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Kaum eine andere Branche ist so sehr von raschem Fortschritt und Veränderung geprägt wie die Elektronikindustrie. Trends von heute sind selbstverständliche Standards von morgen. Innovationen sichern die Marktanteile und revolutionäre Leistungen prägen eine neue Gerätegeneration.
Um den hohen Anforderungen gerecht zu werden, unterstützen wir Sie mit Lösungen und Produkten für die verschiedensten Bereiche der Elektronik und Photonik:
Unsere Fachkompetenz wächst dabei in der engen Zusammenarbeit mit führenden Industrieplayern. So erhakten Sie Zugriff auf ein komplettes Spektrum an Produkten, sowohl pneumatische als auch elektronische Komponenten - alles aus einer Hand. Zudem profitieren Sie von kundenspezifischen Lösungen (SMC Customized Solutions), die Ihre individuellen Anforderungen effizient, sicher und präzise erfüllen.
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Lassen Sie sich von unseren Lösungen für Manipulation, Kontrolle und Transfer beeindrucken
Die Herstellung von Halbleiterbauelementen ist der Prozess, mit dem die integrierten Schaltkreise hergestellt werden, die in elektrischen und elektronischen Geräten des Alltags vorkommen. Dabei handelt es sich um eine mehrstufige Sequenz photolithographischer und chemischer Verarbeitungsschritte, in denen elektronische Schaltkreise allmählich auf einem Wafer aus reinem Halbleitermaterial erstellt werden. Fast immer wird Silizium verwendet, aber für spezielle Anwendungen werden verschiedene Verbindungshalbleiter verwendet.
In der Abgasleitung der Transferkammer sitzen verschiedene Hochvakuumventile. Zusätzlich werden Reinstgasventile verwendet, um die Prozessgase in die Prozesskammer zu leiten.
Serie XL
Serie XM
Serien XGT, XGD
Serien AP, AZ
Um die Prozesse zu optimieren, werden die Temperaturen der einzelnen Kammern (besonders der Prozesskammer) präzise geregelt. Dafür werden Prozessventile, Durchflussschalter, Druckregler und Druckschalter verwendet.
Serie VX2
Serie PF3W
Serie SRH
Serie ISE20C
Kühl- und Temperiergeräte werden verwendet, um die verschiedenen Kammern präzise zu temperieren.
Serie HRSH
Serie HRS
Serie HRZ
Serie HRW
Serie HEC
Serie HECR
Exhaust line: Transfer chamber & Load-lock chamber: Hochvakuumventile befinden sich in der Abgasleitung der Transferkammer.
Serie XL
Serie XM
Serien XGT, XGD
Zum sanften Belüften der Transferkammer werden Regler, Durchflussschalter, Filter und Belüftungsventile verwendet. Dadurch können Turbulenzen zeigen, die Partikel aufwirbeln können.
Serie XVD
Serie SRH
Serie SRF
Serie PFM
Serie SF
Die meisten Halbleiterchips sind lasermarkiert und bieten dauerhafte, zuverlässige und attraktive Markierungen in Sekundenbruchteilen. Vor dem Verpacken werden Silizium-Halbleiterwafer unter Verwendung hoch kontrollierter Laser identifiziert, um eine Beschädigung der Eigenschaften des Wafers zu vermeiden.
Um die Prozesse zu optimieren, werden die Temperaturen der einzelnen Kammern (besonders der Prozesskammer) präzise geregelt. Dafür werden Prozessventile, Durchflussschalter, Druckregler und Druckschalter verwendet.
Serie VX2
Serie SRH
Serie PF3W
Serie ISE20C
Serie LFE
Serie KKA
Thermo-Chiller oder Thermo-Controller werden verwendet, um Laser und Optik präzise zu temperieren. Einige unserer Produkte sehen Sie hier:
Serie HRSH
Serie HRS
Serie HRZ
Serie HRW
Serie HEC
Serie HECR
