Artikelbezeichnung

Mein Konto

×

Herzlich Willkommen bei SMC Deutschland!
Sie haben Fragen zur Nutzung unserer Website?
Schauen Sie in unsere Online-Hilfe.

Damit Ihr System jederzeit Höchstleistung bringt

Hochvakuumlösungen

Unsere Hochvakuumlösungen wurden weiterentwickelt, um die steigenden und immer komplexer werdenden Anforderungen der Halbleiterfertigung sowie anderer Hightech‑Industrien zuverlässig zu erfüllen.

Moderne Fertigungsprozesse in der Halbleiter‑, Display- und Hightech‑Industrie stellen höchste Ansprüche an die Prozessführung – von Ätz‑ und Sputteranlagen über Ionenimplantationssysteme bis hin zu CVD‑Prozessen. Für diese anspruchsvollen Anwendungen bieten unsere hochwertigen Peripheriegeräte die ideale Unterstützung: Sie ermöglichen das zuverlässige Abführen der Luft aus Vakuumkammern sowie die präzise Rückführung auf Atmosphärendruck – essenziell für stabile Ergebnisse bei der Bearbeitung von Wafern und LCDs.
Die Hochvakuumlösungen von SMC verbinden herausragende Leistung mit den entscheidenden Kriterien moderner Produktionsumgebungen: maximale Dichtheit, höchste Reinheitsstandards, exzellente Korrosionsbeständigkeit, lange Lebensdauer und äußerst geringer Wartungsaufwand.
Unterstützt wird dies durch ein Team fachkundig geschulter SMC Spezialisten, das Ihnen weltweit mit Expertise, Anwendungswissen und passgenauen Lösungen zur Seite steht – ergänzt durch SMCs globale Präsenz und umfangreiche Fertigungskapazitäten.

Anwendungsbereiche

Die Hochvakuumtechnologie zählt zu den Schlüsselkomponenten moderner Spitzenforschung und hochpräziser industrieller Prozesse. Sie kommt überall dort zum Einsatz, wo maximale Reinheit, absolute Stabilität und präzise Prozessführung gefordert sind – etwa in Analysegeräten, Beschichtungsanlagen oder komplexen Weltraumsimulationskammern.
SMC bietet hierfür ein breites Portfolio an Komponenten, die höchste Dichtheit, exakte Temperaturführung und zuverlässige Druckregelung sicherstellen. Diese Leistungsmerkmale sind entscheidend in Umgebungen, in denen selbst geringste Abweichungen die Resultate beeinflussen können.
Ob bei der Entwicklung innovativer Materialien, in der Oberflächenforschung oder bei experimentellen Anwendungen mit höchsten Ansprüchen: SMC liefert Lösungen, die Stabilität, Wiederholbarkeit und langfristige Zuverlässigkeit Ihrer Systeme gewährleisten – und damit eine unverzichtbare Grundlage für präzise wissenschaftliche und industrielle Ergebnisse schaffen.

Hochvakuumlösungen im Detail

Klicken Sie auf das Bild unten, um weitere Informationen zu erhalten.

N2-Gas-/Luftzufuhr

Um die Integrität der Kammer zu gewährleisten und eine Kontamination zu verhindern, wird reiner Stickstoff oder reine Luft über kontrollierte Versorgungsleitungen zugeführt. Diese Leitungen dienen der Betätigung der Ventile und der Spülung der Kammer und sorgen so für stabile Druckverhältnisse während des Prozesses.

Abluft

Eine effiziente Absaugung der Prozessgase ist entscheidend für die Aufrechterhaltung eines hohen Vakuumniveaus. Absaugleitungen, die mit leichtgängigen Absperr- und Eckventilen ausgestattet sind, ermöglichen einen kontrollierten Druckabbau, minimieren die Partikelbildung und gewährleisten eine schnelle Kammerrückführung.

Schlitzventil und Transfer

Schlitzventile ermöglichen einen sauberen und präzisen Wafer-Transfer zwischen Vakuumkammern und gewährleisten dabei die Aufrechterhaltung des Vakuums während des Betriebs der Ladeschleuse. Ergänzende Komponenten wie kolbenstangenlose Zylinder und Ionisatoren sorgen für reibungslose, partikelfreie Bewegungen und die Kontrolle elektrostatischer Entladungen, wodurch eine zuverlässige und kontaminationsfreie Handhabung während des gesamten Transferprozesses gewährleistet wird.

Pneumatische Ventile

Pneumatische Ventile benötigen eine stabile und saubere Druckluftversorgung, um in Hochvakuumsystemen zuverlässig zu funktionieren. Komponenten wie 4-Wege-Doppelventile und Reinraumregler gewährleisten eine präzise Betätigung, sorgen für eine gleichbleibende Ventilleistung und minimieren gleichzeitig das Kontaminationsrisiko.

Temperaturregulierung

Kühlwassersysteme tragen dazu bei, die bei Vakuumprozessen entstehende Wärme abzuleiten, wodurch die Anlagen geschützt und optimale Kammerbedingungen aufrechterhalten werden. Filter und Durchflussregelventile sorgen für einen sauberen und stabilen Wasserkreislauf und verringern so das Risiko von Verunreinigungen und Temperaturschwankungen. 

Wenden Sie sich jetzt an einen SMC‑Experten und erfahren Sie, wie unsere Hochvakuumlösungen die Leistungsfähigkeit Ihrer Systeme gezielt stärken. Mit maßgeschneiderten Komponenten und technischer Expertise unterstützen wir Sie dabei, stabile, effiziente und zuverlässige Prozesse zu realisieren.